1. 110年半導體設備產值達1,186億元，續創新高：隨半導體廠商持續在台投資高階製程，帶動供應鏈在地化的群聚效應，吸引國際大廠紛紛來台投資建廠，加上近年5G、物聯網、車用電子等應用晶片需求強勁，半導體業者積極擴廠增加產能，致我國半導體設備產值自101年逐年成長，110年突破千億規模，達1,186億元，較109年大增33.6%，近10年(101年至110年)半導體設備產值平均年增17.7%。111年上半年受惠車用電子、高效能運算等應用需求仍然熱絡，半導體業者持續加大擴產腳步，致前8月半導體設備產值865億元，較上年同期增加16.5%，展望第4季，雖全球經濟動能趨緩，半導體業者開始調整延後部分投資計畫，但今年產值仍可望突破千億規模。

2. 生產設備及零件係主要成長貢獻來源：國產半導體設備包含生產、檢測兩大類，其中110年生產設備及零件產值879億元(占74.1%)，較109年增42.1%，近5年(106年至110年) 平均年增25.9%，為主要成長貢獻來源，主因生產設備廠商近年積極投入研發製造，持續接獲國內外大廠訂單所致。110年檢測設備及零件亦年增14.2%，近5年平均年增13.4%。

3. 半導體設備直接外銷比重接近5成：由於台灣為全球最重要之晶片生產基地，吸引國外半導體設備公司來台設廠，加上國內業者積極投入研發，有效提升國際競爭力，致近年半導體設備之直接外銷金額快速躍升，直接外銷占比逐漸提升，110年占比為45.7%，較105年上升14.8個百分點，111年1-8月累計持續提升至47.7%。

4. 中國大陸、新加坡、美國及馬來西亞為我國半導體設備出口主要國家：半導體產業不僅是高技術及高附加價值行業，亦是國家經濟發展的關鍵性產業，在疫情催升供應鏈在地化效應下，各主要半導體生產國家積極擴增產能設備，帶動近年我國半導體設備出口成長。依據海關進出口統計，110年我國半導體設備出口值(不含復出口)為24.6億美元，年增63.2%，其中以中國大陸為最大外銷市場(占45.0%)，出口金額約11.1億美元，年增66.8%，其次依序為新加坡(占21.2%)、美國(占12.7%)及馬來西亞(占6.9%)，分別年增92.8%、43.4%及63.0%，四者合計占總出口金額已達85.8%，其中新加坡因政府積極扶植半導體產業，110年占比較105年增加13.2個百分點最多。

5. 半導體裝置或積體電路機具及零附件為主要進口貨品：目前主要半導體生產設備技術多掌握在國際大廠，尤其是高階製程設備，致110年我國半導體設備進口值(不含復進口)為319.7億美元，年增37.9%。依貨品別觀察，主要為半導體裝置或積體電路機具及零附件(海關稅則號：848620及848690)占74.3%最多；依國家別觀察，自荷蘭進口82.1億美元占25.7%居首，自日本進口占22.1%次之，自美國進口占20.7%居第三。