台積電內部評估未來旱災風險可能加劇，除加強節水力度、提高製程水回收率，並擴大再生水使用，據統計，台積電去年在節水與水回收方面共投入新台幣28億元。

為了解未來潛在的旱災風險，台積電統計，民國75年至94年新竹縣市地區最大連續不降雨日數為40天，台中市52天，台南市62天，推測105年至124年新竹縣市地區最大連續不降雨日可能增加4.15%，台中市可能增加2.42%，台南市也可能增加2.28%。

民國170年至189年新竹縣市地區最大連續不降雨日可能比75年至94年間的水準增加14.44%，台中市可能增加11.33%，台南市可能增加10.73%。

台積電預估10年發生一次旱災，對營運造成的衝擊可能影響年平均營收0.7%至1.1%。

面對未來旱災風險可能加劇，台積電除加強節水力度、提高製程水回收率外，同時建立完善水情監控機制，擴大再生水使用並備妥水車以因應缺水情況，以將旱災對營運造成的衝擊降至最低，達到生產零中斷的目標。

台積電去年在節水與水回收設備投資16億元，相關節水與水回收設備操作及維護保養金額12億元，合計達28億元。

台積電去年透過提升系統產水率、廠務系統排水減量、增加廠務廢水回收及降低系統排水損失，去年總計年度新增節水量達192.7萬公噸。

台積電去年單位產品用水量較99年時的水準降低8.9%，內部以119年單位產品用水量比99年時降低30%為努力目標，此外，並力求民生及工業再生水替代自來水的替代率達到30%以上水準。