有「浸潤式微影之父」稱號的林本堅,他是奠定台積電技術領先群雄的關鍵人物。林本堅是一名越南僑生,1959年因台灣推行的僑生政策,他插班進入新竹中學就讀,深受台灣自由開放的教育風氣薰陶;之後他在全球知名大公司IBM工作22年,直到2000年,受台積電邀請來台工作。
當時業界盛行「乾式曝光」技術,卻遇到瓶頸,林本堅提出「浸潤式微影技術」,以水為介質,成功讓晶片可以做得更小更精緻,也讓全球半導體製程得以往下推進7個世代。林本堅受訪時說,感謝當年台灣的教育,對他影響深遠,「一年定半百」。如今他也選擇繼續待在台灣,並接下清華大學半導體研究學院院長,將為台灣培育更多人才。
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